東洋精密工業株式会社

“フォトブラスト”による微細加工技術と量産技術

フォトエッチング加工をコア技術として、メタルマスク・フィルターなど各種金属のエッチング加工、セラミック・ガラス材のブラスト加工、半導体・電子部品の加工用のリソグラフィ法で用いるフォトマスク技術、蒸着薄膜形成・スクリーン印刷厚膜形成による通信機器・各種センサ用の回路基板の精密加工業

フォトリソグラフィとマイクロブラスト技術を組合せた“フォトブラスト”により従来加工法では困難な脆性材の穴空け・パターン形成を高精度で加工
①穴径(スルーホール)は、80μｍで寸法精度±10μｍ、板厚0．07～0．20ｍｍで量産加工が可能
②直噴式加工法により、高テーパ角 80°、高アスペクト比 >2を実現。
（従来、テーパ角 70°、アスペクト比 1．66）
フェライト材の他、ガラス、セラミックス、シリコンなど可能
最小穴径φ40μｍ（板厚0．1ｍｍ）で少量生産に対応